大家都知道一臺(tái)真空機(jī)組是由一個(gè)或若干個(gè)主抽泵也就是羅茨真空泵和一個(gè)前級(jí)泵(可以為水環(huán)式真空泵也可以是旋片式真空泵等)組成。那么他們
之間有什么聯(lián)系呢。
機(jī)組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān),而羅茨泵的性能又隨前級(jí)泵的不同而有所不同。
1)由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙,因此有返流存在,而這種返流受進(jìn)口壓力和出口壓力的影響,即使是同一臺(tái)羅茨泵,使用不同的前級(jí)泵時(shí),其抽氣速率也會(huì)有所不同。
羅茨泵的抽氣速率可由下式確定:
δ=δ0(P2/P1/K)
式中:δ0-設(shè)計(jì)的抽氣速率;
P1-進(jìn)口壓力;
P2-出口壓力;
K-固有常數(shù),由該泵轉(zhuǎn)子的形狀、間隙量、轉(zhuǎn)子圓周速度和出口壓力來確定。
由上式可知,抽氣量受到出口壓力與進(jìn)口壓力之比的影響,亦即若增加前級(jí)泵的抽氣速率,那么羅茨泵的抽氣速率也會(huì)增大。
(2)極限壓力由泵的抽氣速率,各間隙的返流量,泵體泄漏量及高真空側(cè)的放氣量所決定。即:
P0=(Q1+Q2+Q3)/δ
式中:P0-極限壓力;
δ-抽氣速率;
Q1-返流量;
Q2-泄漏量;
Q3-放氣量。
在這些參數(shù)中,Q1受排氣壓力即前級(jí)泵的極限壓力的影響很大,在用水環(huán)泵作前級(jí)泵時(shí),羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。
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